流量计，即mass flow meter（缩写为mfm）， 是一种准确测量气体流量的仪表，其测量值不因温度或压力的波动而失准，流量控制器，不需要温度压力补偿。
流量控制器，热式气体流量控制器， 即mass flow controller（缩写为mfc）， 不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。简单地说，流量控制器就是一个稳流装置， 是一个可以手动设定或与计算机联接自动控制的气体稳流装置。
1）热分布式 大部分热分布式tmf的流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如ldg-□db系列为减少环境气氛对流传热影响，流量控制器报价，只能水平安装，水平度允差±20。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。
2）浸入式 大部分浸入式tmf性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得准确测量，必须遵循制造厂依据仪表设计结构而定的安装建议。
流量控制器的特点是：当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时，通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有：流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的误差，行业标准中的误差要求小于等于8％，a类产品的误差小于等于5％。流量控制精度的高低取决于流量控制器的设计、加工和材质。
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