流量控制器由流量传感器、分流器通道、流量调节阀门和放大控制器等部分组成。流量控制器的剖面结构图见图1。气体流量传感器采用毛细管传热温差量热法原理测量气体的流量(无需温度压力补偿)。将传感器加热电桥测得的流量信号送入放大器放大， 放大后的流量检测电压与设定电压进行比较， 再将差值信号放大后去控制调节阀门，闭环控制流过通道的流量使之与设定的流量相等。分流器决定主通道的流量。与流量控制器配套的流量显示仪上设置有稳压电源，精密气体流量计分类，数字电压表， 设定电位器， 外设、内设转换和三位阀控开关等。气体流量控制器与流量显示仪连接后的工作原理。
流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一， 是要选择耐压符合要求的mfc; 二， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三， 要在mfc气路前面加减压阀，精密气体流量计品牌， 稳定入口气压， 在mfc下游加背压阀， 稳定反应室和mfc出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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热式流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s)，插入式热式流量计更适合于大管径。
热式流量计无活动部件，无分流管的热分布式仪表无阻流件，压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表，虽在测量管道中置有阻流件，但压力损失也不大。
热式流量计使用性能相对---。与推导式流量仪表相比，精密气体流量计规格，不需温度传感器，压力传感器和计算单元等，精密气体流量计，仅有流量传感器，组成简单，出现故障概率小。
热分布式仪表用于h2 、n2 、o2、co 、no等接近理想气体的双原子气体，不---这些气体专门标定，直接就用空气标定的仪表，实验证明差别仅2%左右;用于ar、he等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算，但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变，但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
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