流量控制器，即massflowcontroller(mfc)，不但具有流量计的功能，更重要的是，它能自动控制气体流量，即用户可根据需要进行流量设定，mfc自动地将流量恒定在设定值上，即使系统压力有波动或环境温度有变化，也不会使其偏离设定值。流量控制器（mass flow controller缩写为mfc）用于对于气体或者液体的流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，气体流量计，cvd，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，气体流量计品牌，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点：精度高，重复性好。
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热式流量器根据热源及测温方式的不同可分为接触式和非接触式两种。
1．接触式热式流量器这种流量计的加热元件和测温元件都置于被测流体的管道内，与流体直接接触，常被称为托马斯流量计，适于测量气体的较大流量. 由于加热及测量元件与被测流体直接接触，气体流量计说明书，因此元件易受流体腐蚀和磨损，影响仪表的测量灵敏度和使用寿命。测量高流速、有腐蚀性的流体时不宜选用，这是接触式的缺点。
2．非接触式热式流量器这种流量计的加热及测温元件都置于流体管道外，与被测流体不直接接触，克服了接触式的缺点。
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流量控制器在正常工作时，流体在旋转的管内流动时会对管壁产生一个力，它是科里奥利在1832年研究水轮机时发现的，简称科氏力。流量计以科氏力为基础，在传感器内部有两根平行的t型振管，中部装有驱动线圈，两端装有拾振线圈，变送器提供的激励电压加到驱动线圈上时，振动管作往复周期振动，工业过程的流体介质流经传感器的振动管，就会在振管上产生科氏力效应，使两根振管扭转振动，安装在振管两端的拾振线圈将产生相位不同的两组信号，这两个信号差与流经传感器的流体流量成比例关系。计算机解算出流经振管的流量。不同的介质流经传感器时，振管的主振频率不同，据此解算出介质密度。安装在传感器器振管上的铂电阻可间接测量介质的温度。
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