流量控制器可以用于控制各种气体， 包括腐蚀性气体和特殊气体， 但是要注意， 对于使用腐蚀性气体和特殊气体， 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时，数字流量计型号， 需要向供货厂商特殊声明使用气体， 以免因为选型或选择密封材料错误， 造成---损失。
通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等， 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体， 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
由于金属密封的mfc价格较高， 通常要求不高的场合， 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明， mfc都采用氟橡胶密封，数字流量计规格， 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体， 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体， 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶， 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; ---化硼等——需要采用---橡胶。
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1）热分布式 大部分热分布式tmf的流量传感器可任何姿势（水平、 垂直或倾斜）安装，有些仪表只要安装好后在工作条件压力、温度下作电气零点调整。然而有些型号仪表对安装姿势具有敏感性，大部分制造厂会对此就安装姿势影响和安装要求作出说明。例如ldg-□db系列为减少环境气氛对流传热影响，数字流量计计算，只能水平安装，水平度允差±20。应用于高压气体时流量传感器则宁可选择水平安装，因为这样便于做到调零的零偏置。
2）浸入式 大部分浸入式tmf性能不受安装姿势影响。然而在低流速测量时因受管道内气体对流的热流影响，使安装姿势显得重要。因此在低和非常低流速流动时要获得准确测量，必须遵循制造厂依据仪表设计结构而定的安装建议。
流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一， 是要选择耐压符合要求的mfc; 二， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三， 要在mfc气路前面加减压阀， 稳定入口气压， 在mfc下游加背压阀， 稳定反应室和mfc出口的气压， 适当调节减压阀和背压阀， 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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