电子气体流量计计算-厚礼博-电子气体流量计

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    2022-5-30

刘彦燕
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流量控制器

气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。





流量控制器

使用挥发性液体蒸发汽, 气压很低, 如何定制流量控制器的低压降产品?

部分用户使用挥发性液体蒸发汽做气源, 气压很低,电子气体流量计, 用普通mfc, 不能正常工作。这时用户需要向供货商---声明, 定制低压降的流量控制器。通常可以定制工作压差低于0.01mpa的mfc, 这时mfc的工作压差范围, 也会变小。

注意使用挥发性液体蒸发汽时, 不能让汽化物在mfc中结露, 结露会影响mfc的正常工作。为了防止结露,电子气体流量计规格, 可以对管路和mfc适当加温, 但mfc的工作环境温度通常不得超过50℃。如果用户要mfc的工作环境温度超过65℃以上,电子气体流量计计算, 需要特殊购买高温mfc产品。






流量控制器

注意选择正确的工作压力指标

不同的产品工作压力指标可能不同,注意选择适合自己的产品。

流量控制器(mfc)除工作压力之外,还有另一项工作压力指标:工作压差,电子气体流量计---,即mfc进气端和出气端之间的压差,选型时要注意,使用时也要注意。

 注意选择合适的精度指标

准确度﹑线性﹑重复精度是比较重要的几项指标,其中重复精度在很多应用场合尤为重要。指标不一定追求高,应考虑自己的实际需要。

如果对厂家给出的指标不放心,有条件的用户也可以自己标定一下。标定的方法参见下面的有关内容。



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