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流量控制器

怎样进行不同气体的流量换算？

产品出厂一般是按氮气标定﹑按氮气流量确定流量规格。用同一规格的mfm/mfc测量不同的气体，当流量检测值相同时，实际的流量值可能不同。我们在说明书中给出了不同气体相对于标定气体（氮气）的流量转换系数。

如果您使用的产品是标准出厂产品（按氮气标定显示），而需要知道实际使用气体的流量时，先在产品说明书中找到实际使用气体的转换系数。在测量过程中，以此系数乘以流量显示值即是实际使用气体的流量；反之，数字流量计，在确定所购产品的量程时，流量计，以实际使用气体的期望流量值除以转换系数，即是相应的氮气标定产品的流量值。

空气、o2﹑h2﹑co﹑hcl、hf等气体，其转换系数约为1.0 ，流量计厂家， 一般可直接用按氮气标定显示的产品，不必换算。

流量控制器基本原理

通过测量气体流经流量器内加热元件时的冷却效应来计量气体流量的。气体通过的测量段内有两个热阻元件，其中一个作为温度检测，另一个作为加热器。温度传感元件用于检测气体温度，加热器则通过改变电流来保持其温度与被测气体的温度之间有一个恒定的温度差。当气体流速增加，冷却效应越大，使须保持热电阻间恒温的电流也越大。此热传递正比于气体流量，即供给电流与气体流量有一对应的函数关系来反映气体的流量。

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流量控制器的工作压差范围是个什么概念?

流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa)， 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。

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