流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门， 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程， 在工作的过程当中， 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降， 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa， 若压差低于值(0.1 mpa)， 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa)，流量控制器报价， 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时，流量控制器， 无论用户工作的反应室是真空还是高压， 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内， 并且要求气压要相对稳定。
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地定量控制流量
适用范围宽
有很宽的工作压力范围，我们的产品可以从真空直到10mpa; 可以适用于多种气体介质（包括一些腐蚀性气体，如hcl）；有很宽的流量范围，我们的产品流量范围可达0～5 sccm，流量范围可达0～200 slm。流量显示的分辨率可达满量程的0.1%， 流量控制范围是满量程的2～100% 量程比为-- 50:1， 因此在很多领域得到广泛应用。
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怎样选择流量显示单位？
我们的流量显示仪一般提供三种流量显示单位，即百分比﹑sccm﹑slm。出厂前根据用户的要求设定。按百分比显示的方式，即是将 mfm / mfc 的流量测量值按其占满量程的百分比来显示，例如，规格为50sccm的mfm/mfc，当显示值为80%时，实际的流量为40sccm。对任何一种规格的mfm/mfc，满量程值都显示为100%。这种方式通用性好，可配不同量程的mfm/mfc，但不直观，甘肃流量控制器，有的用户不习惯。
按 sccm或 slm显示，出厂时对流量显示的范围与相应的mfm/mfc的量程进行匹配，使用时显示值即是流量值，流量控制器哪里有，很直观，符合习惯，为多数用户所采用。 匹配好后，原则上也能接其它量程的mfm/mfc使用，只是显示值需要修正。
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