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流量控制器的应用中ist流量传感器的作用

ist-ag通过特殊的薄膜工艺，将---加热器，温度传感器或电堆封装在单一芯片内，构成流量测量的主要传感单元（figure 2） ，通过流量传感器以响应绝大多数流量测量场景，薄膜技术的应用使得ist ag流量传感器具有---的结构与---势。为此ist流量传感器在mfc中的应用工采网瑞士ist 流量传感器 - fs5.0.1l.195的升级版ist-ag fs7流量传感器。

ist公司的fs5.0.1l.195是一个热质流量传感器，用于各种气流应用.热质流量传感器使用热传递原则，确定流体的流率.随着流体通过传感器，热质由传感器传递到媒体.此关序取决于流动速率.随着流动增加，热量被传递.通过了解媒体的温度，即可通过为保持恒定温度差的电压补偿量得出流速。

而ist-ag fs7流量传感器宽广的测量范围允许将传感器直接置于被测气路当中，免去复杂的旁路设计。传感器具有陶瓷基底与钝化玻璃层进行保护，具有较佳的长期稳定性。

因此在终端应用中，流量控制器的---性多半是许多半导体工艺的基础。mfc 的失准或制造缺陷会导致晶圆产量下降，流量控制器公司，甚至会损坏整个晶圆。采用ist流量传感器则可以为mfc产品带来如下优势:

1、足够宽的测量范围使得在许多场景中不必使用旁路，而进行直接测量，提高测量的准确性。

2、薄膜技术带来---的响应灵敏度，在一般测量状态就可以瞬间响应压力浪涌。

3、小巧的体积与简单的安装方式，给气路结构优化创造的空间。

数字型和模拟型的流量控制器的控制方法

热式流量计是基于热扩散原理而设计的流量仪表。即利用流体流过---物体时，---物体的热量散失多少与流体的流量呈一定的比例关系。该系列流量计的传感器有两只标准级的rtd，一只用来做热源，一只用来测量流体温度，当流体流动时，两者之间的温度差与流量的大小成线---，再通过微电子控制技术，将这种关系转换为测量流量信号的线性输出。热式流量计传感器包含两个传感元件，一个速度传感器和一个温度传感器。

它们自动地补偿和校正气体温度变化。仪表的电加热部分将速度传感器加热到高于工况温度的某一个定值，使速度传感器和测量工况温度的传感器之间形成恒定温差。当保持温差不变时，电加热消耗的能量，也可以说热消散值，与流过气体的流量成正比，流量控制器，它适合单一气体和固定比例多组份气体的测量。

热式气体流量控制器和流量计，根据它的信号传输模式可以分为：模拟型和数字型两种。国产的产品中，模拟型分为电压（0-5v或0-10v，每个厂家与厂家之间可能会有稍微的差异）和电流（4-20ma或0-20ma）；数字型的主要还是市场上传统的rs485 modbus协议或rs232 （国外的产品还可选perfnet或是总线方式）。用户主要是通过采集数据信号，来进行的气体流量的检测，以及设定数据信号值，来达到调节和开启截止阀门的开度，从而控制气体的流量。