




提高气体流量控制器实用准确度的措施为:
1.针对气体流量控制器的实际工艺参数,液体流量计价格,对该流量计进行“个性化标准”,从而实现在实际使用流量点的一定范围内,该气体流量控制器的实际测量误差(与标准值的差)趋于零。
2.把好气体流量控制器的安装环节,减少或消除机械应力、机械扭力和机械振动等对该流量计使用的影响。
3.考虑工艺压力、温度等对气体流量控制器测量准确度的影响。
4.把好气体流量控制器的投用关。
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气体流量单位一般以sccm(standard cubic centimeter per minute,每分钟标准毫升)和slm(standard liter per minute,每分钟标准升)来表示。这意味着,这种仪表在不同的使用条件下,指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别,也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
热式流量器可测量低流速(气体0.02~2m/s)微小流量;浸入式热式流量计可测量低~中偏高流速(气体2~60m/s),插入式热式流量计更适合于大管径。
热式流量计无活动部件,超声波流量计价格,无分流管的热分布式仪表无阻流件,压力损失很小;带分流管的热分布式仪表和浸入性仪表,虽在测量管道中置有阻流件,但压力损失也不大。
热式流量计使用性能相对---。与推导式流量仪表相比,不需温度传感器,涡轮流量计价格,压力传感器和计算单元等,仅有流量传感器,组成简单,出现故障概率小。
热分布式仪表用于h2 、n2 、o2、co 、no等接近理想气体的双原子气体,不---这些气体专门标定,直接就用空气标定的仪表,天津流量计价格,实验证明差别仅2%左右;用于ar、he等单原子气体则乘系数1.4即可;用于其他气体可用比热容换算,但偏差可能稍大些。
气体的比热容会随着压力温度而变,但在所使用的温度压力附近不大的变化可视为常数。
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