气体流量单位一般以sccm（standard cubic centimeter per minute，每分钟标准毫升）和slm（standard liter per minute，每分钟标准升）来表示。这意味着，这种仪表在不同的使用条件下，指示的流量均是标准状态下的流量。标准状态规定为: 气压—101325pa (760mm hg); 温度—0℃ (27---k)。这是这种仪表和其它流量计的重要区别，也是sccm﹑slm不同于ml/min﹑l/min 之处。
流量控制器的工作压差范围通常比较小， 要在高压条件下正常使用需要---注意三点: 一， 是要选择耐压符合要求的mfc; 二， 是要挑选工作压差范围大的产品型号; 三， 要在mfc气路前面加减压阀，智能电磁流量计哪里有， 稳定入口气压， 在mfc下游加背压阀，智能电磁流量计， 稳定反应室和mfc出口的气压，智能电磁流量计， 适当调节减压阀和背压阀， 要---mfc的工作压差不会超过规定的范围。只要做到以上三点， mfc就能够在高压条件下稳定工作。
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流量控制器的特点是：当自力式流量控制阀进口、出口压差变化时，通过自力式流量控制阀的流量恒定不变。
流量控制器的性能参数有：流量控制精度、工作压差范围、启动压差。
流量控制精度指的是流量控制器的控制流量的误差，行业标准中的误差要求小于等于8％，a类产品的误差小于等于5％。流量控制精度的高低取决于流量控制器的设计、加工和材质。
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