




流量控制器(mfc)中设置有一个气体流量调节阀门, 阀门能使通过控制器的流量从零调节到测量的满量程, 在工作的过程当中, 控制器的入口和出口之间会产生一个气压降, 即压差。mfc的工作压差范围通常为0.1~0.3mpa, 若压差低于值(0.1 mpa),进口气体流量计, 有可能控制达不到满量程值; 若高于值(0.3mpa), 有可能关闭时流量不能小于2%f.s。用户使用mfc时, 无论用户工作的反应室是真空还是高压, 应做到使mfc进出气两端的压差保持在所要求压差范围之内, 并且要求气压要相对稳定。
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流量控制器可以用于控制各种气体, 包括腐蚀性气体和特殊气体, 但是要注意, 对于使用腐蚀性气体和特殊气体, 需要恰当选择型号和密封材料。用户在订货时, 需要向供货厂商特殊声明使用气体, 以免因为选型或选择密封材料错误, 造成---损失。
通常气体流量控制器接触工作气体的湿材料为316l不锈钢、聚四氟乙烯和密封材料等, 密封材料又分为金属密封和橡胶密封两大类。金属密封的材料一般为不锈钢、金或镍等耐腐蚀材料。采用金属密封的mfc原则上可以用于任何气体, 包括各种腐蚀性气体和特种气体。
由于金属密封的mfc价格较高, 通常要求不高的场合, 均采用橡胶密封的mfc。如果不特殊声明, mfc都采用氟橡胶密封, 可以用于大多数酸性和碱性腐蚀性气体, 例如可以用于卤族干燥气体。其它一些特殊腐蚀性气体, 需要采用特种橡胶。氨气——需要采用耐氨橡胶,进口气体流量计价格, 如乙丙橡胶、氯丁橡胶或丁晴橡胶; ---化硼等——需要采用---橡胶。
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选择产品和订货时应当注意
注意选择合适的响应时间指标
有的应用系统对mfc的响应时间有较高的要求,用户应根据自己的情况加以考虑。在考虑响应时间指标的同时,还应注意其响应过程及动态特性。
注意对安装位置有无要求
有的厂家的产品要求必须水平位置安装。
注意使用气体和适用范围
mfm/mfc 对使用的环境及介质温度﹑气源压力﹑介质(---是使用对腐蚀性气体)情况等均有一定适用范围,请注意阅读说明书或向厂家咨询。
注意接头形式
通常有双卡套(swagelok)和vcr两种接头可以选择, vcr接头性能---适合于应用。
订货应注明:
产品名称、型号、流量规格、标定气体、使用气体(---是腐蚀性气体)、接头形式和数量。
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